El robot Dextro de Lam Research aporta una precisión 2x al mantenimiento de semiconductores

Lam Research acaba de presentar Dextroun nuevo robot colaborativo construido específicamente para afrontar los retos del mantenimiento de los equipos de fabricación de semiconductores. Este robot móvil ya está funcionando en varias fábricas de obleas de alta tecnología de todo el mundo, ocupándose de entre 50 y 100 cámaras de herramientas Lam que necesitan un mantenimiento mensual.

Dextro está diseñado para resolver algunos de los mayores retos del mantenimiento de semiconductores y tiene tres características destacadas. En primer lugar, instala piezas consumibles con más del doble de precisión que el trabajo manual, lo que ayuda a mejorar el rendimiento del grabado en los bordes de la oblea. El robot también aprieta los pernos de sellado al vacío con una especificación precisa, lo que elimina la tasa de error habitual del 5% de la mano del hombre. Esto reduce el riesgo de fluctuaciones de temperatura de la cámara que podrían echar por tierra la producción.

Además, Dextro cuenta con tecnología de limpieza y eliminación de polímeros automatizada que puede eliminar la acumulación de paredes laterales en la cámara sin desmontar la cámara inferior. Esto también hace que todo el proceso sea más seguro, al eliminar la necesidad de equipos de protección como máscaras respiratorias, que eran imprescindibles en la limpieza manual.

Young Ju Kim, vicepresidente y jefe del equipo de tecnología de grabado de memorias de Samsung Electronics, compartió su opinión sobre la importancia de un mantenimiento rápido y eficaz: "Cuando los equipos de fabricación requieren mantenimiento, el trabajo debe realizarse con rapidez y eficacia para evitar tiempos de inactividad prolongados de las herramientas y costes inútiles. El mantenimiento sin errores de Dextro ayuda a impulsar mejoras en la variabilidad y el rendimiento de la producción."

En estos momentos, Dextro funciona con las herramientas de grabado dieléctrico de las series Flex G y H de Lam, y el plan es ampliar su compatibilidad a más equipos para 2025. El sistema funciona sobre un carro móvil y es controlado por los técnicos o ingenieros de la fábrica, utilizando diferentes efectores finales para cada tarea de mantenimiento.