Vidrio Corning Extreme ULE: Estableciendo nuevos estándares para la litografía EUV con una estabilidad térmica inigualable

Corning acaba de lanzar https://www.corning.com/worldwide/en/about-us/news-events/news-releases/2024/09/corning-unveils-extreme-ule-glass-to-enable-next-generation-of-microchips.html un nuevo material de ultrabaja expansión (ULE) preparado para soportar la creciente potencia de los próximos sistemas de litografía EUV de baja y alta AN. Este nuevo y reluciente vidrio Extreme ULE está llamado a ser el material de referencia para las fotomáscaras y espejos litográficos de próxima generación en las futuras herramientas de fabricación.

La característica clave de Extreme ULE es su dilatación térmica excepcionalmente baja, que proporciona una consistencia excepcional para el uso de fotomáscaras. Además, es realmente plano, lo que ayuda a combatir esa molesta "ondulación de la fotomáscara" y reduce las variaciones no deseadas en la producción de chips. Estas características nos permiten utilizar películas y fotorresistencias avanzadas para aumentar el rendimiento y las prestaciones.

Los sistemas de litografía EUV emplean una fuente de plasma para crear una luz EUV superintensa, que también genera mucho calor. La mayor parte de ese calor, sin embargo, permanece en la cámara de la fuente, separada de la fotomáscara. La luz EUV se dirige entonces a la fotomáscara a través de unos elegantes espejos litográficos, pero esos espejos pueden ser sensibles al calor.

Las fotomáscaras están hechas de materiales reflectantes multicapa diseñados para rebotar muy bien la radiación EUV. Hacen un gran trabajo de reflexión, pero aún así absorben un poco de esa luz EUV, lo que significa que la fotomáscara acaba con un poco de carga térmica extra.

A medida que las herramientas EUV intensifican su juego y procesan más obleas por hora (WPH), incorporan algunas fuentes de luz potentes. Esto significa que las películas, las fotomáscaras y los fotorresistentes se enfrentan a mayores niveles de radiación y calor EUV. El vidrio Extreme ULE de Corning, que se basa en la familia ULE clásica, ofrece una estabilidad térmica y una uniformidad increíbles, justo lo que necesitan las herramientas EUV de alta AN y pronto de baja AN de próxima generación.

"A medida que crecen las exigencias de la fabricación de chips integrados con el auge de la inteligencia artificial, la innovación en el vidrio es más importante que nunca", afirma Claude Echahamian, Vicepresidente y Director General de Corning Advanced Optics. "El vidrio Extreme ULE ampliará el papel vital de Corning en la búsqueda continua de la Ley de Moore ayudando a permitir una fabricación EUV de mayor potencia así como un mayor rendimiento"